相簿列表 » MOCVD實驗室

白色的MOCVD：Aixtron CCS (close coupled showerhead) 6x2FT MOCVD system
可成長六吋晶圓，或是六片兩吋晶圓，具有in-situ監控系統，可監控晶片曲率、晶片表面溫度及磊晶速率，目前用來磊晶GaN on si結構

藍色MOCVD：Aixtron 200/4 RF MOCVD system
台灣學術界的第一台商用型MOCVD機台，可成長一片兩吋晶圓，目前用來磊晶開發LED結構。